IR-400用于腔室清洗終點監(jiān)測的高級氣體監(jiān)測儀
LU 系列自動供液系統(tǒng)
LE 系列大流量液體源汽化控制系統(tǒng)
VC 系列直接液體注入系統(tǒng)
LSC 系列緊湊型加熱汽化
VG-200S電容式壓力計
MI-1000/MV-1000混合注入系統(tǒng)液體汽化器
SEC-Z500X多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器
SEC-N100 系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
FS-3000熱式氣體分流器
排氣壓力控制器EC-5000 系列
D700MG高響應(yīng)壓力非敏感質(zhì)量流量器
壓差式質(zhì)量流量控制器 D500
HORIBA壓力控制器 R600-RS485
MT-52顯示儀
MT-51顯示儀
日本HORIBA S48-300氣體質(zhì)量流量控制器
日本HORIBA S600-EtherCAT 氣體質(zhì)量流量控制器